IC芯片X射線檢查設備屬于一種無損檢查方式,專用于檢測IC芯片的內(nèi)部結(jié)構(gòu)及各種內(nèi)部不可目視缺陷的檢測。首先,我們知道IC芯片主要是由各種微型電子設備或組件組成,采用一定的工藝來互連晶體管、二極管、電阻器、電容器和電感器以及電路中所需的其他組件和布線,以形成一小塊或幾小塊。然后將一塊半導體晶片或介電襯底包裝在包裝中,以成為具有所需電路功能的微型結(jié)構(gòu)。所有組件都已整體結(jié)構(gòu)化,使電子組件朝著小型化,低功耗和高可靠性邁出了一大步。但是電路越復雜,檢測起來就越復雜。
芯片是一種相對復雜的電子組件。芯片的成本通常是人工成本的20%,流片的40%,封裝的35%和測試的5%(對于先進技術(shù),流片的成本可能超過60%),就芯片質(zhì)量檢測而言,反而這是***的步驟,但是測試同樣又是保證產(chǎn)品質(zhì)量不可或缺的一個步驟,如果沒有良好的測試則產(chǎn)品PPM(每百萬故障率)太高,退貨或賠償遠遠不能代表成本的5%,因此,IC芯片質(zhì)檢設備對精度的要求就相對很高。
眾所周知當前常用的芯片檢查方法通常是將芯片逐層剝離,然后使用電子顯微鏡拍攝每一層的表面,這種檢測方法對芯片極具破壞性。此外就是對于芯片內(nèi)部的檢測方式,目前包括AOI外觀檢查,超聲無損檢測和X射線無損檢測。那么,這三種檢測方法有何區(qū)別?
首先,AOI,這是外觀檢查,不能用于分析產(chǎn)品的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。
其次,超聲波測試,雖然這是一種非破壞性測試,但是產(chǎn)品的測試結(jié)果無法保存。
**,就是X-RAY檢測設備,它可以實時分析和投影產(chǎn)品,并保存圖像以供以后分析和比較。X射線檢測設備的特點是:利用X射線超短波長的特性,根據(jù)不同材料的吸光率的不同,穿透產(chǎn)品并分析所形成的圖像,并可以存儲。對技術(shù)人員以后的分析非常有用。良好的輔助效果,這也是超聲波無損檢測無法做到的。
芯片廠家在無法通過外觀檢查樣品時,可以記錄X射線穿透不同密度材料后的光強變化,從而產(chǎn)生對比效果??梢孕纬蓤D像以顯示待測對象的內(nèi)部結(jié)構(gòu),并且可以顯示待測對象的內(nèi)部結(jié)構(gòu)而不會破壞測試對象。觀察被測物體內(nèi)部是否存在問題。X射線測試設備主要依靠內(nèi)部的X射線管發(fā)射X射線,以照射IC芯片進行成像,并且X射線具有光敏作用。 X射線像可見光一樣,可以使膠片感光。膠片感光度與X射線量成正比。當X射線穿過IC芯片時,芯片的每個組織的密度不同,并且X射線的吸收率也不同。獲得X射線圖像的靈敏度不同。 X射線檢測基本上不會對IC芯片造成任何損壞,因此X射線除了用于醫(yī)療之外,還廣泛用于電子工業(yè)產(chǎn)品檢測領域。
這些檢查絕不是在雞蛋中挑骨頭,它不僅需要“挑剔”和“嚴格”,還需要全過程的控制和參與。日聯(lián)科技X射線檢查系統(tǒng)配有大數(shù)據(jù)云平臺,檢查數(shù)據(jù)實時上傳和存檔,并生成報告,全程幫助參與者分析芯片制造問題的反饋數(shù)據(jù),優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品也是需要優(yōu)質(zhì)設備把關(guān)才能做到事半功倍。
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